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光學(xué)平臺(tái)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無(wú)損檢測(cè)等領(lǐng)域,以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動(dòng)隔離的關(guān)鍵裝置中,其動(dòng)態(tài)力學(xué)特性的好壞直接影響試驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。儀器設(shè)備的微振動(dòng)直接影響精密儀器設(shè)備的測(cè)量精度。隨著精密隔振要求的提升,需要不斷提高光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)隔離技術(shù)。
精密的光學(xué)實(shí)驗(yàn)依賴于可靠的定位穩(wěn)定性,工作區(qū)域內(nèi)及附近的振動(dòng)會(huì)造成光學(xué)部件間的相對(duì)運(yùn)動(dòng),從而產(chǎn)生不可接受的偏移,這些偏移會(huì)導(dǎo)致:采集的圖像模糊。光斑偏移造成無(wú)法采集數(shù)據(jù)或數(shù)據(jù)采集不準(zhǔn)等現(xiàn)象。所以光學(xué)平臺(tái)的選擇對(duì)于提升實(shí)驗(yàn)精度,起著至關(guān)重要的作用。
從結(jié)構(gòu)上來(lái)看,光學(xué)平臺(tái)主要分為臺(tái)面和支架兩部分,所以光學(xué)平臺(tái)的隔振性能取決于臺(tái)面本身和支架的隔振性能,總體上說(shuō),光學(xué)平臺(tái)的隔振,通過(guò)三個(gè)方面來(lái)實(shí)現(xiàn):
1.隔振支架:通常來(lái)說(shuō),氣浮式隔振支架性能優(yōu)于阻尼式隔振支架,部分性能優(yōu)異的隔振支架可以將外界振動(dòng)(常見(jiàn)10~200Hz)減少一至兩個(gè)數(shù)量級(jí)。
2.臺(tái)面物理性能:要求臺(tái)面有一定的剛性而且較輕(硬重比),這樣的臺(tái)面可以有效減少共振時(shí)的振幅。
3.臺(tái)面內(nèi)部結(jié)構(gòu):臺(tái)面的內(nèi)部結(jié)構(gòu),除了負(fù)責(zé)減輕支架未能消除的外界振動(dòng)外對(duì)于降低或消除因臺(tái)面上的沖擊和相對(duì)運(yùn)動(dòng)引起的振動(dòng),起到至關(guān)重要的作用。
優(yōu)良的光學(xué)平臺(tái)不僅需要高精度的機(jī)器設(shè)備來(lái)加工,更需要有高科技精度的檢測(cè)手段與檢測(cè)儀器來(lái)保證,也只有優(yōu)良的光學(xué)平臺(tái)才能保證高精度的科學(xué)實(shí)驗(yàn)、科學(xué)研究的正常進(jìn)行。